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经营范围
发明名称
METHOD AND GETTER DEVICES FOR USE IN DEPOSITION OF THIN LAYERS
摘要
申请公布号
KR20010113796(A)
申请公布日期
2001.12.28
申请号
KR1020017013021
申请日期
2001.10.12
申请人
发明人
分类号
C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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