| 摘要 |
<p>박막형 액츄에이터가 부착된 스캐닝 프로브 및 이를 포함하는 원자력 현미경이 개시되어 있다. 측정시료의 표면굴곡에 연동하는 팁과 팁의 연동을 감지하기 위한 박막형 액츄에이터를 각각 포함하며, 상기 팁의 연동에 응답하여 입사되는 레이저빔을 상이한 굴절각도로 반사하기 위한 복수의 스캐닝 프로브를 구성하고, 상이한 굴절각도로 반사되는 레이저빔을 수광하여 반사경로를 감지하기 위한 복수의 수광센서와 수광센서로부터 수광된 레이저빔에 응답하여 박막형 액츄에이터의 구동을 제어하기 위한 복수의 구동부를 구성한다. 동작시 복수의 스캐닝 프로브의 각각은 동시에 스캐닝 동작을 수행할 수 있고, 또한 각 팁의 변위 신호를 감지하여 상기 각각의 액츄에이터를 구동하는 구동전원을 제어함으로써 스캐닝 프로브의 팁의 위치를 별도로 제어할 수 있다.</p> |
