发明名称 METHOD FOR FORMING CAPACITOR USING THERMAL PROCESS OF HIGH PRESSURE
摘要
申请公布号 KR20010113111(A) 申请公布日期 2001.12.28
申请号 KR20000033235 申请日期 2000.06.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HORIE HIDEKI
分类号 H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
地址