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发明名称
VACUUM VAPOR EPITAXIAL GROWTH APPARATUS AND CONTROLLING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
KR20010113534(A)
申请公布日期
2001.12.28
申请号
KR1020010034285
申请日期
2001.06.18
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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