发明名称 RETICLE STAGE OF EXPOSING FACILITY
摘要
申请公布号 KR20010113227(A) 申请公布日期 2001.12.28
申请号 KR20000033450 申请日期 2000.06.17
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JI TAE
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址