| 摘要 |
<p>본 발명은, 유도결합형 플라즈마장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 자장강화된 유도결합형 플라즈마장치는, 플라즈마에 의한 소정 처리를 위한 적어도 하나의 시편을 수용하는 직사각형 단면을 갖는 반응챔버와; 상기 반응챔버 내에 플라즈마를 발생시키기 위해 상기 반응챔버 내에 RF소스전력을 제공하기 위한 유도수단과; 상기 반응챔버 내에 상기 플라즈마를 가두기 위한 자기장을 제공하는 상기 반응챔버 내측에 설치된 자기장발생수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 플라즈마의 높은 균일도, 밀도 및 식각속도를 얻을 수 있는 유도결합형 플라즈마장치가 제공된다.</p> |
