| 发明名称 |
SHATTER-PROOF COVER FOR SPIN COATING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20010113105(A) |
申请公布日期 |
2001.12.28 |
| 申请号 |
KR20000033228 |
申请日期 |
2000.06.16 |
| 申请人 |
SFA ENGINEERING CORP. |
发明人 |
CHOI, TAE IL;MIN, BYEONG GEUM |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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