发明名称 METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE
摘要 <p>Es wird ein Verfahren zur Gewinnung von Siliciumnitrid (Si3N4) beschrieben. Bei diesem Verfahren werden Stickstoff und/oder Stickstoffverbindungen mit Hilfe eines Nebengruppenelementes oder Nebengruppenelementoxides mit Silicium und/oder Siliciumverbindungen in einer Reaktionskammer umgesetzt. Das Verfahren weist bei einer hohen Ausbeute einen einfachen und raschen Ablauf auf.</p>
申请公布号 WO2001098205(A1) 申请公布日期 2001.12.27
申请号 DE2001002229 申请日期 2001.06.15
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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