| 摘要 |
<p>Die Meßeinrichtung (4) dient zur Erfassung von Dimensionen von Prüflingen und kann in ein Werkzeug (1) integriert oder anstelle eines Werkzeuges in einer Werkzeugaufnahme befestigt werden. Eine Lichtquelle (10) erzeugt einen Lichtstrahl, der durch einen Strahlteiler (18) in einen Referenz- und einen Messstrahl (27, 28) aufgeteilt wird. Der Meßstrahl (28) wird dem Prüfling und der Referenzstrahl (27) einem Referenzspiegel (14) zugeführt. Die an der Meßstelle (8) und am Referenzspiegel (14) reflektierten, zeitlich inkohärenten Strahlen werden am Strahlteiler (18) wieder zusammengeführt und einem Empfänger (13) zugeführt. Der Referenzspiegel (14) und der Empfänger (13) sind in bezug auf die optische Achse der Messeinrichtung (4) lateral versetzt. Der Strahlteiler (18) kann auch geneigt zur optischen Achse angeordnet sein. Dadurch wird eine hochgenaue Messung möglich.</p> |
