| 发明名称 | 第IV副族元素的络合化合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及第Ⅳ或Ⅴ副族元素的新型络合物,该络合物在化学汽相沉积(CVD)－技术中以形成改进型前体组合。这种络合物排除了带α位质子的烷氧化物配位体,这样,通过络合物的水解不再释放任何还原剂。 | ||
| 申请公布号 | CN1328562A | 申请公布日期 | 2001.12.26 |
| 申请号 | CN99813824.X | 申请日期 | 1999.11.02 |
| 申请人 | 因芬尼昂技术股份公司 | 发明人 | F·欣特迈尔;R·梅茨格尔;C·维尔纳 |
| 分类号 | C07F7/00;C07F9/00;C23C16/40 | 主分类号 | C07F7/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 卢新华;邰红 |
| 主权项 | 1.一种下列通式的络合物 M(L)x(R3C-O-)y-x其中M是稳定的中心原子，它取自周期表第IV或V副族，L是β-二酮盐、β-酮亚胺盐和/或β-二亚胺盐，(R3C-O-)是烷氧化物配位体，其中R可以是相同的或不同的，并表示碳原子为1-24的烷基，它可以是支链直链的，有时是取代的和/或络合的，x不等于0，其值介于1-4之间，和y不等于0，根据中心原子的氧化程度为2、3、4或5。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||