发明名称 | 有源矩阵基底、显示器件和图象传感器件 | ||
摘要 | 提供了一种有源矩阵基底,能缩短象素电极的制造工艺、通过自对准改善曝光精度和防止象素电极之间的泄漏故障。该有源矩阵基底具有以矩阵形状放置的TFT。在透光基底上形成有栅极信号线和源极信号线。在上述线条上的栅极绝缘膜上按顺序形成半导体层、由沟道保护层左右分开的源极电极和漏极电极。由此制造TFT。然后整个基底上覆盖层间绝缘膜。在层间绝缘膜的顶上形成象素电极,它通过穿过层间绝缘膜的接触孔连接到TFT。通过在层间绝缘膜上施加包含ITO、ATO或ZnO作为透明导电颗粒的一层光敏透明树脂例如负性的聚丙烯树脂,从基底的背侧进行曝光和显影,形成象素电极。 | ||
申请公布号 | CN1328270A | 申请公布日期 | 2001.12.26 |
申请号 | CN01121152.0 | 申请日期 | 2001.06.02 |
申请人 | 夏普公司 | 发明人 | 和泉良弘;近间义雅;村井淳人 |
分类号 | G02F1/136;G09F9/30 | 主分类号 | G02F1/136 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 梁永 |
主权项 | 1.一种有源矩阵基底,包括:以矩阵形状放置的开关元件;控制开关元件的栅极信号线;连接到开关元件、与栅极信号线垂直形成的源极信号线;形成在开关元件、栅极信号线和源极信号线上的层间绝缘膜;和形成在层间绝缘膜上、通过穿过层间绝缘膜的接触孔连接开关元件的象素电极;其中所述象素电极由光敏的导电材料形成。 | ||
地址 | 日本大阪市 |