发明名称 氧化锆基陶瓷薄膜的制备方法
摘要 本发明提供一种用于减摩、抗磨的氧化锆基陶瓷薄膜的制备方法。它包括:以锆无机盐为主原料,利用溶胶-凝胶和浸涂技术制备均匀致密氧化锆基陶瓷薄膜。所制得的薄膜在低负荷下与不同硬度的摩擦副对摩时均具有长的耐磨寿命和低的摩擦系数。其特点是:利用溶胶-凝胶技术,以锆无机盐为原料,在不同的底材上制备一系列氧化锆基陶瓷薄膜,该氧化锆基陶瓷薄膜可用作低负荷下的减摩抗磨涂层。
申请公布号 CN1328173A 申请公布日期 2001.12.26
申请号 CN01121365.5 申请日期 2001.06.08
申请人 中国科学院兰州化学物理研究所 发明人 刘维民;陈云霞
分类号 C23C20/08 主分类号 C23C20/08
代理机构 中国科学院兰州专利事务所 代理人 方晓佳
主权项 1.一种氧化锆基陶瓷薄膜的制备方法,其特征在于依次包括以下步骤:(1)将锆无机盐和/或含一定量的稳定剂的掺杂物加热溶解于无水乙醇中,调节PH=1~3,将制得的溶液于水浴中陈化24~96小时得澄清透明的氧化锆基前驱体溶胶,稳定剂的添加量是锆无机盐、掺杂物摩尔总量的0~2倍;(2)在溶胶中加入有机成膜助剂,有机成膜助剂的添加量为前驱体溶胶体积量的0~1.0%;(3)将制得的溶胶用浸渍-提拉法在经处理的载玻片、单晶硅、铝、不锈钢底材上制备溶胶薄膜,制膜温度15~25℃,相对湿度40~60%,控制提拉速度10~90cm/min获得不同厚度的溶胶薄膜;(4)溶胶薄膜在空气中室温~70℃保温,然后加热至400~700℃并保温,在炉中自然冷却至室温,获得陶瓷薄膜。
地址 730000甘肃省兰州市城关区天水路342号