发明名称 | 工件振动缓冲器 | ||
摘要 | 本发明提出一种在精密加工系统中支承工件的设备。该设备包括许多基本上在一个平面上支承工件的工件接触部件以及用于减小工件振动的顺从静摩擦支承件。该工件支承装置包括连接于工件接触部件和顺从静摩擦支承件的底座部件。该顺从静摩擦支承件包括接触工件的滑动组件。该滑动组件与底座部件形成滑动的摩擦连接。该顺从静摩擦支承件还包括用于迫使滑动组件与工件接触的工件接触弹簧部件。该顺从静摩擦支承件还包括静摩擦弹簧部件。该静摩擦弹簧部件与滑动部件接触。静摩擦弹簧部件迫使滑动部件与底座部件形成摩擦接触。因此,顺从静摩擦支承件抵抗振动力刚性地支承工件。 | ||
申请公布号 | CN1328695A | 申请公布日期 | 2001.12.26 |
申请号 | CN99811349.2 | 申请日期 | 1999.08.04 |
申请人 | FEI公司 | 发明人 | A·阿姆斯特隆 |
分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 曾祥凌;黄力行 |
主权项 | 1.一种在精密加工系统中用于支承工件的设备,上述设备包括:一组支承工件的工件接触部件,上述一组工件接触部件基本上形成一个平面;顺从的静摩擦支承装置,与上述接触部件一起安装并配置成刚性地支承工件抵抗振动力,以减少工件垂直于该平面的振动。 | ||
地址 | 美国麻萨诸塞州 |