发明名称
摘要
申请公布号 JP2001527699(A) 申请公布日期 2001.12.25
申请号 JP19980550665 申请日期 1998.05.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址