| 发明名称 |
Device for positioning disk-shaped objects |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU6304801(A) |
申请公布日期 |
2001.12.24 |
| 申请号 |
AU20010063048 |
申请日期 |
2001.05.10 |
| 申请人 |
BROOKS AUTOMATION GMBH;JOACHIM KONIG |
发明人 |
STEFFEN KRUGER;BJORN ZIMMER;MANFRED HEINZE |
| 分类号 |
G01B21/00;G01N21/84;G01N21/95;G01N21/956;G12B5/00;H01L21/68 |
主分类号 |
G01B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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