发明名称 WIRE BONDING METHOD
摘要 제 2 본드점으로의 본딩시에 있어서의 와이어 루프의 부풀음을 방지하여 안정된 와이어 루프형상을 가능하게 하고, 저단차 디바이스에 있어서의 저와이어 루프를 가능하게 한다. 캐필러리의 선단으로부터 돌출한 와이어의 선단에 형성된 볼을 제 1 본드점 (A)에 본딩한 후, 캐필러리가 제 2 본드점(C) 측으로 이동할 때, 먼저 제 2 본드점 (C)으로부터 약간 제 1 본드점(A)측의 E점으로 하강하여 캐필러리의 선단에서 아래로 처진 와이어부를 수평면으로 밀어 붙이고, 다음에 캐필러리는 F점에 상승 및 제 2 본드점(C)의 상방의 G점으로 이동한 후, 캐필러리는 하강하여 제 2 본드점(C)에 와이어를 본딩한다.
申请公布号 KR100317698(B1) 申请公布日期 2001.12.22
申请号 KR19990037029 申请日期 1999.09.02
申请人 null, null 发明人 니시우라신이치;다케우치노부오
分类号 H01L21/60;B23K20/00;H01L21/607 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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