| 摘要 |
<p>본 발명은 레이저빔을 이용하여 이송계의 자유도별 오차를 측정하는 레이저 간섭계의 광축 정렬 시스템을 개선하여, 광축정렬이 쉽고 빠르게 이루어질 수 있도록 하므로써 광축 정렬 및 이송계의 오차 측정을 수행하는 작업자에게 편리함을 제공함과 더불어 정확한 오차측정이 가능하도록 한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 레이저빔(4)을 발생시키는 광원(1)과, 상기 광원(1)에서 조사된 광을 분할하기 위한 광분할기(5)와, 상기 광분할기(5)에서 분할되어 광로가 변경된 광이 입사후 반사되어 원래의 광로를 따라 광분할기(5) 쪽으로 되돌아가도록 설치되며 광원(1)으로부터 나온 직선광에 대한 목적물 각오차의 기준이 되는 제1반사거울(10)과, 상기 광분할기(5)를 통과한 직선광과의 각오차를 유도하기 위하여 이송계에 설치되는 목적물인 제2반사거울(11)과, 상기 광원(1)으로부터 나온 직선광의 광축과 이송계 이송축간의 평행오차의 기준이 되는 제1반사프리즘(8)과, 상기 광원(1)으로부터 나온 직선광의 광축과 이송계 이송축간의 평행오차를 유도하기 위해 이송계에 설치되는 제2반사프리즘(9)과, 상기 광원(1)으로부터 조사된 광의 광축에 대한 목적물의 각오차 및 평행오차 검출을 위해 설치되는 CCD 카메라(13)를 포함하여서 됨을 특징으로 하는 레이저를 이용한 광축 자동정렬 시스템 및 이를 이용한 광축 정렬방법이 제공된다.</p> |
