| 主权项 |
1.一种使用含氟中性液的清洁方法,藉以去除一不锈钢管上之一附着物,该方法包含下列步骤:提供一容器,该容器系装有该含氟中性液;将附有该附着物之该不锈钢管置入浸泡于该容器;以及加温并使该含氟中性液流动于该不锈钢管间,以增进去除该附着物的效率。2.如申请专利范围第1项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该附着物系为一半导体制程所产生之附着物。3.如申请专利范围第2项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该半导体制程系为APCVD之BPSG制程。4.如申请专利范围第3项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该不锈钢管系为该APCVD之BPSG制程中所使用之一管路(piping and cover)。5.如申请专利范围第2项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该附着物系为一含矽的氧化物。6.如申请专利范围第1项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该容器系为一酸槽。7.如申请专利范围第6项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该酸槽系具一可装该含氟中性液不受损害之特性。8.如申请专利范围第1项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该含氟中性液系由HF与NH4OH中和产生,或由NH4F溶于水中产生。9.如申请专利范围第8项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该含氟中性液更含一去离子水(DIW)。10.如申请专利范围第1项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该含氟中性液之一PH値系介于6至8。11.如申请专利范围第1项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中加温系藉由一电热器为之,或利用HF与NH4OH中和所放出之热。12.如申请专利范围第1项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中加温系加以一适当温度。13.如申请专利范围第12项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该适当温度系为40℃左右。14.如申请专利范围第1项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该附着物系为一含矽之氧化物。15.如申请专利范围第1项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中使该含氟中性液流动的方法系藉由于该容器底部产生气泡为之,或利用泵浦强制水流流动。16.如申请专利范围第15项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该气泡系为一氮(N2)或CDA(Clean Dry Air)气泡。17.如申请专利范围第1项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该不锈钢管系以一篮子载入该容器内。18.如申请专利范围第17项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中篮子为一塑胶篮子。19.一种使用含氟中性液的清洁方法,藉以去除一半导体制程中于一不锈钢上所产生之一附着物,该方法尚可包含下列步骤之部份或全部:提供一容器,该容器系装有该含氟中性液,该中性液系为一PH値介于6到8之液体;将附有该附着物之该不锈钢置入浸泡于该容器;以及加温并使该含氟中性液流动于该不锈钢间,以增进去除该附着物的效率。20.如申请专利范围第19项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该半导体制程系为APCVD之BPSG制程。21.如申请专利范围第19项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该不锈钢系为一不锈钢管。22.如申请专利范围第21项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该不锈钢管系为该半导体制程所使用之一管路(piping and cover)。23.如申请专利范围第22项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该半导体制程系为APCVD之BPSG制程。24.如申请专利范围第19项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该附着物系为一含矽的氧化物。25.如申请专利范围第19项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该容器系为一酸槽。26.如申请专利范围第25项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该酸槽系系具一可装该含氟中性液不受损害之特性。27.如申请专利范围第19项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该含氟中性液系由HF与NH4OH中和产生或由NH4F溶于水中产生。28.如申请专利范围第27项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该含氟中性液更含一去离子水(DIW)。29.如申请专利范围第19项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该含氟中性液之一PH値系介于6至8。30.如申请专利范围第19项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中加温系藉由一电热器为之,或利用HF与NH4OH中和所放出之热。31.如申请专利范围第19项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中加温系加以一适当温度。32.如申请专利范围第31项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该适当温度系为40℃左右。33.如申请专利范围第19项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中使该含氟中性液流动的方法系藉由于该容器底部产生气泡为之,或利用泵浦强制水流流动。34.如申请专利范围第33项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该气泡系为一氮(N2)或CDA(Clean Dry Air)气泡。35.如申请专利范围第19项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该不锈钢系以一篮子载入该容器内。36.如申请专利范围第35项所述之使用含氟中性液的清洁方法,其中该篮子为一塑胶篮子。37.一种使用含氟中性液的清洁方法,藉以去除一半导体制程中于一不锈钢上所产生之一附着物,该方法尚可包含下列步骤之部份或全部:提供一含氟中性液,该中性液系为一PH値介于6到8之液体;涂抹该含氟中性液于附有该附着物之该不锈钢上;以及加温并使该含氟中性液流动于该不锈钢间,以增进去除该附着物的效率。图式简单说明:第一图:本案清洗管路示意图。 |
