| 主权项 |
1.一种放电表面处理方法,系在使放电表面处理用电极与被加工物相对移动,藉由供给于前述放电表面处理用电极与前述被加工物之极间之放电能量而于前述被加工物表面形成硬质薄膜之放电表面处理方法,其特征为于前述硬质薄膜形成后,以前端部具有预定硬度之按压工具按预定压力对前述硬质薄膜按压,并使在前述硬质薄膜上进行相对移动。2.一种放电表面处理方法,在使放电表面处理用电极与被加工物相对移动,藉由供给于前述放电表面处理用电极与前述被加工物之极间之放电能量而于前述被加工物表面形成硬质薄膜之放电表面处理方法,其特征为于前述硬质薄膜形成后,一边使前端部具有预定硬度之按压工具按硬质薄膜之按压方向反覆移动,一边使在前述硬质薄膜上进行相对移动。3.一种放电表面处理方法,系在使放电表面处理用电极与被加工物相对移动,藉由供给于前述放电表面处理用电极与前述被加工物之极间之放电能量而于前述被加工物表面形成硬质薄膜之放电表面处理方法,其特征为于前述硬质薄膜形成后,一边使前端部具有预定硬度之按压工具以振动器按前述硬质薄膜之按压方向振动,一边使在前述硬质薄膜上进行相对移动。4.一种放电表面处理装置,系在使放电表面处理用电极与被加工物相对移动,藉由供给于前述放电表面处理用电极与前述被加工物之极间之放电能量而于前述被加工物表面形成硬质薄膜之放电表面处理装置,其特征为具备前端部具有预定硬度之按压工具。5.一种放电表面处理装置,该装置系在使放电表面处理用电极与被加工物相对移动,藉由供给于前述放电表面处理用电极与前述被加工物之极间之放电能量而于前述被加工物表面形成硬质薄膜之放电表面处理装置中,其特征为于连接至振动器之前端部具备具有预定硬度之按压工具。图式简单说明:第一图表示有关本发明实施形态1之放电表面处理装置之构成图。第二图系有关本发明实施形态1之硬质薄膜之残余拉伸应力之解除或缓和方法之说明图。第三图系有关本发明实施形态1之硬质薄膜之残余拉伸应力之解除或缓和方法之说明图。第四图系有关本发明实施形态2之硬质薄膜之残余拉伸应力之解除或缓和方法之说明图。第五图表示以往之放电表面处理方法之装置构成图。 |
