发明名称 METHOD FOR IMPROVING THE SIDEWALL STOICHIOMETRY OF THIN FILM CAPACITORS
摘要
申请公布号 KR20010112236(A) 申请公布日期 2001.12.20
申请号 KR1020017008677 申请日期 2001.07.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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