发明名称
摘要
申请公布号 JPS4841941(A) 申请公布日期 1973.06.19
申请号 JP19710077111 申请日期 1971.10.04
申请人 发明人
分类号 H05K3/00;C23F1/00;G03F1/00;G03F1/68;G03F1/80;G03F7/00;G03F7/11;H01L21/027 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
主权项
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