Sensorvorrichtung und Sensorgerät

摘要

Eine Sensorvorrichtung wie beispielsweise eine Winkelgeschwindigkeitserfassungsvorrichtung hat einen Vibrator (20), Antriebselektroden (51-1 bis 51-4) und Erfassungselektroden (53-1 bis 53-4). Jede Antriebselektrode und Erfassungselektrode (51-1 bis 51-4, 53-1 bis 53-4) hat eine bewegliche Elektrode (32a1 bis 32a4, 21a1 bis 21a4, 22a1 bis 22a4) und eine feststehende Elektrode (51a1 bis 51a4, 53a1 bis 53a4). Indem jeweils die Länge, die Breite und die Dicke von Leitern (51b1 bis 51b4), die mit den feststehenden Elektroden (51a1 bis 51a4) der Antriebselektroden (51-1 bis 51-4) verbunden sind, und Leitern (53b1 bis 53b4), die mit den feststehenden Elektroden (53a1 bis 53a4) der Erfassungselektroden (53-1 bis 53-4) verbunden sind, wird eine elektrische Eigenschaft für diese Leiter (51b1 bis 51b4, 53b1 bis 53b4) eingestellt, die in der gleichen Weise wirken.