| 摘要 |
개폐가능한 도어 (108) 를 가지며, 기판홀더 (68) 를 밀폐상태로 수납가능한 홀더용 콘테이너 (106) 가 설치되는 콘테이너대 (104) 와, 콘테이너대 (104) 위에 설치된 콘테이너 (106) 의 내부와 외부를 격리한 상태에서 도어 (108) 를 개폐하는 개폐기구 (112) 와, 개폐기구 (112) 에 의해 도어 (108) 가 개방되었을 때, 스테이지 (WST) 위의 홀더와 콘테이너 (106) 내의 홀더를 교환하는 반송계 (100) 를 구비한다. 따라서, 반송계 (100) 에서는, 단시간에 홀더의 교환을 장치의 내부와 외부를 격리한 상태에서 실시할 수 있고, 이에 의해 장치정지시간을 매우 짧게 할 수 있고, 또한 홀더의 청정도를 항상 유지할 수 있다. 결과적으로 반도체 소자 등의 디바이스의 생산성을 향상시킬 수 있다. |
