| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung schafft ein Halbleiterbauelement mit einem Substrat (1) und einem in dem Substrat (1) vorgesehenen Isolationsgraben (10), welcher teilweise mit einem Isolationsmaterial (5) aufgefüllt ist. In das Isolationsmaterial (5) ist ein Plattenkondensator (40; 45; 50) eingebettet. Die Erfindung schafft ebenfalls ein entsprechendes Herstellungsverfahren.</p> |
