| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR REGELUNG EINES BESCHICHTUNGSVORGANGS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59802169(D1) |
申请公布日期 |
2001.12.20 |
| 申请号 |
DE19985002169 |
申请日期 |
1998.09.04 |
| 申请人 |
STEAG HAMATECH AG |
发明人 |
SARBACHER, UWE;WINDELN, WILBERT |
| 分类号 |
C23C14/54;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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