| 摘要 |
압력측과 흡입측을 가지며 실린더 (1) 내에 이동가능하게 수용되는 피스톤 (8) 을 포함하며, 피스톤 축 (7) 이 피스톤 압력측으로부터 실린더 바닥 (3) 을 관통하여 돌출되어 있고 또한 피스톤 압력측을 대기와 연결하는 관통로 (9) 를 구비하는 진공 작동식 승강 장치. 축방향으로 압축 가능한 제 1 공간 (13) 이 챔버의 배기를 위한 진공원에 연결되고 피스톤 흡입 측에 기밀성 있게 밀봉 설치되며,상기 공간 (13) 이 탄력적인 벨로우즈 (11) 벽에 의해 한정된다. |
