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发明名称 A reactive ion etching process
摘要
申请公布号 GB2363361(A) 申请公布日期 2001.12.19
申请号 GB20010018719 申请日期 2000.03.30
申请人 * THE UNIVERSITY COURT OF THE UNIVERSITY OF GLASGOW 发明人 JESUS MIGUEL * RUANO-LOPEZ;JAMES RONALD * BONAR;ANDREW JAMES * MCLAUGHLIN;PAULO VICENTE * DA SILVA MARQUES;MICHAEL GEORGE * JUBBER;CHRISTOPHER D W * WILKINSON;JAMES STEWART * AITCHISON
分类号 G02B6/136;(IPC1-7):H01L21/311;G02B6/12 主分类号 G02B6/136
代理机构 代理人
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