发明名称 METHOD FOR DEPOSITING AMORPHOUS SILICON FILM, ITS GROWTH METHOD AND H-ADDED AMORPHOUS SILICON FILM
摘要
申请公布号 KR20010111632(A) 申请公布日期 2001.12.19
申请号 KR1020010032585 申请日期 2001.06.11
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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