辐射敏感性组合物

摘要

一种用作光致抗蚀剂的光敏组合物,其包含一种树脂组合物和一种光敏物质,其中,树脂组合物为两种或多种树脂的混合物,这些树脂的折射率差值至少为0.03,或者为一种作为基础树脂的碱溶性树脂与作为树脂添加剂的一种用作光敏组合物的溶解抑制剂的树脂的混合物,如丙烯酸聚合物、甲基丙烯酸聚合物或苯乙烯聚合物。光敏组合物优选为一种在2.38wt%的四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为5000A/分钟或更小的组合物。树脂组合物可有效地在所采用的醌二叠氮化物光敏剂用量减少下使用,并且获得的光敏组合物具有满意的高敏感度和高膜厚度保持性。

主权项

1.一种包含树脂组合物和辐射敏感性物质的辐射敏感性组合物，其中，树脂组合物包含两种或多种树脂，进而，其中所述树脂的折射率差值至少为0.03。