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发明名称 ELECTROSTATICALLY ACTUATED PUMPING ARRAY
摘要
申请公布号 EP1163446(A1) 申请公布日期 2001.12.19
申请号 EP19980965368 申请日期 1998.11.06
申请人 HONEYWELL INC. 发明人 CABUZ, CLEOPATRA
分类号 F04B43/02;F04B43/04;F04B45/04;F04B45/047;(IPC1-7):F04B45/047 主分类号 F04B43/02
代理机构 代理人
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