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发明名称 Endpoint detection for chemical mechanical polishing using frequency or amplitude mode
摘要
申请公布号 EP0800896(B1) 申请公布日期 2001.12.19
申请号 EP19970301477 申请日期 1997.03.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LI, LEPING;BARBEE, STEVEN G.;HALPERIN, ARNOLD
分类号 H01L21/304;B24B37/04;B24B49/02;G01B7/06;G01N27/00;G01R27/00;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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