发明名称 SURFACE MICROMACHINED ACOUSTIC WAVE PIEZOELECTRIC CRYSTAL
摘要
申请公布号 EP1029393(A4) 申请公布日期 2001.12.19
申请号 EP19980907377 申请日期 1998.02.04
申请人 CTS CORPORATION 发明人 VOJAK, BRUCE;YANG, JIASHI;HUANG, JIN;MATTSON, JOHN
分类号 H03H9/19;H03H9/02;H03H9/205;H03H9/56;(IPC1-7):H03H9/13 主分类号 H03H9/19
代理机构 代理人
主权项
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