用于平面内精密定位的微细操作平台

摘要

本实用新型涉及一种用于平面内精密自动定位的微细操作平台。它是由运动平台4、垫块5、下平台1、压电陶瓷致动器14等组成。下平台1包含三条运动支链,每条运动支链包括柔性铰链6、7、10、12,连架杆9、连杆11、连接杆13及下平台台体15;由于采用了压电陶瓷作为致动器,保证了驱动源的高精度运动输出和快的响应速度;由于各转动副均采用了柔性铰链,保证了运动传递的连续性、无洄滞、无摩擦、免润滑,没有机械损耗,且结构紧凑。

主权项

1.一种由压电陶瓷致动器、柔性铰链组成的用于平面内精密定位的微细操作平台，其特征是，下平台上均匀分布着三条支链，每个支链上的连接杆与连杆之间由与之为一体的柔性铰链相接，连杆与连架杆由另一个与之为一体的柔性铰链相接，连架杆与嵌放压电陶瓷致动器的凸台和下平台体分别由另外两个柔性铰链相接；下平台和运动平台之间通过垫块由螺钉和圆柱销钉连接。