| 发明名称 |
POLISHING PAD FOR SEMICONDUCTOR AND OPTICAL PARTS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20010111548(A) |
申请公布日期 |
2001.12.19 |
| 申请号 |
KR20000032193 |
申请日期 |
2000.06.12 |
| 申请人 |
G&P TECHNOLOGY CO., LTD. |
发明人 |
JUNG, HAE DO;KIM, HO YUN;LEE, HO SIK |
| 分类号 |
B24B37/04;B24D3/34;B24D11/00;B24D13/14;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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