| 摘要 |
<p>본 고안은 다수의 반도체웨이퍼를 적층 수납하기 위한 카세트내의 웨이퍼의 유무 판별장치에 관한 것으로, 다수의 반도체웨이퍼를 적층 수납하기 위한 카세트내의 웨이퍼의 유무 판별장치에 있어서, 상기 카세트의 일측으로부터 상기 카세트내에 수납된 웨이퍼를 향하여 빛을 조사하는 발광부와; 상기 카세트를 사이에 두고 상기 발광부에 대향하여 상기 발광부와 소정의 높이차를 두고 설치되며, 상기 발광부로부터의 직선경로내에 판별대상웨이퍼가 존재하는 동시에 상기 발광부로부터의 빛 중 상기 판별대상웨이퍼에 인접한 웨이퍼에서 반사된 빛이 도달하지 않는 위치에 배치되는 수광부와; 상기 수광부의 수광신호에 기초하여 상기 카세트내의 웨이퍼의 유무를 판별하는 판별수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 발광수단과 수광수단의 설치높이차를 주어 불필요한 반사파에 의한 카세트상의 웨이퍼의 유무를 판별하는데 따른 오동작을 방지할 수 있다.</p> |
