发明名称 VERFAHREN UND LÖSUNG ZUR HERSTELLUNG VON GOLDSCHICHTEN
摘要
申请公布号 AT210208(T) 申请公布日期 2001.12.15
申请号 AT19980961004T 申请日期 1998.10.05
申请人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH 发明人 BACKUS, PETRA;MAHLKOW, HARTMUT;WUNDERLICH, CHRISTIAN
分类号 C23C18/42;H05K3/18;H05K3/24;(IPC1-7):C23C18/42 主分类号 C23C18/42
代理机构 代理人
主权项
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