| 发明名称 |
HALBLEITERANORDNUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT209395(T) |
申请公布日期 |
2001.12.15 |
| 申请号 |
AT19960114483T |
申请日期 |
1996.09.10 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KERBER, MARTIN, DR. RER. NAT. |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/765;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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