发明名称 APPAREIL DE GENERATION DE LUMIERE DE LONGUEUR D'ONDE DE REFERENCE
摘要 <P>Un appareil de génération de lumière de longueur d'onde de référence (100) est décrit dans lequel la lumière émise provenant d'une source de lumière (10) est divisée par une unité de division de lumière (12), l'une des lumières divisées est extraite en tant que faisceau de mesure et l'autre est extraite en tant que lumière de longueur d'onde de référence en traversant un collimateur (14) et un élément absorbant (16) et en étant ensuite réfléchie par un élément réfléchissant (18) pour retourner à l'unité de division (12).</P>
申请公布号 FR2810119(A1) 申请公布日期 2001.12.14
申请号 FR20010005695 申请日期 2001.04.27
申请人 ADVANTEST CORPORATION 发明人 MATSUBARA YASUAKI
分类号 G01J3/28;G01N21/27;G02B6/42;H01L33/58;G01J3/10;(IPC1-7):G02B6/12;G02B5/22 主分类号 G01J3/28
代理机构 代理人
主权项
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