发明名称 MICROMECHANICAL DEVICE WITH DAMPED MICROACTUATOR
摘要 <p>Ce dispositif micro-mécanique amorti (9) comprend un logement (11) doté d'une chambre étanche aux fluides (12) et d'un micro-actionneur excité électriquement (13) et placé dans la chambre étanche aux fluides. Ce micro-actionneur (13) comporte une structure mobile (42) capable d'être déplacée entre une première et une seconde position, à une fréquence de résonance. Un fluide amortisseur (16) est placé dans la chambre étanche aux fluides, aux fins d'amortissement du déplacement de la structure mobile, à la fréquence de résonance.</p>
申请公布号 WO2001095468(A1) 申请公布日期 2001.12.13
申请号 US2001040861 申请日期 2001.06.06
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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