METHOD AND APPARATUS FOR ION IMPLANTATION,申请号KR1020017012872-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号	KR20010110730(A)	申请公布日期	2001.12.13
申请号	KR1020017012872	申请日期	2001.10.09
申请人		发明人
分类号	H01J37/30	主分类号	H01J37/30
代理机构		代理人
主权项
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