发明名称 Aluminium-Reflexionsspiegel und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要 In einer Vakuumkammer wird SiO auf einem Glassubstrat (1) abgeschieden, um eine erste Schicht (2) als Schutzfilm zu bilden, wird Al auf der ersten Schicht (2) abgeschieden, um eine zweite Schicht (3) als Aluminium-Reflexionsfilm zu bilden, wird MgF¶2¶ auf der zweiten Schicht (3) abgeschieden, um eine dritte Schicht (4) als transperenten Schutzfilm zu bilden, und wird CeO¶2¶ auf der Dritten Schicht (4) abgeschieden, um eine vierte Schicht (5) als transparenter Schutzfilm zu bilden. Dann wird, während in der Kammer O¶2¶-Gas eingeleitet wird, SiO¶2¶ auf der vierten Schicht (5) abgeschieden, um eine fünfte Schicht (6) als transparenter Schutzfilm auszubilden.
申请公布号 DE10126364(A1) 申请公布日期 2001.12.13
申请号 DE2001126364 申请日期 2001.05.30
申请人 FUJI PHOTO OPTICAL CO. LTD., SAITAMA 发明人 KUROBE, KUNIO;AIHARA, SUSUMU
分类号 G02B5/08;C03C17/36;G02B1/10;(IPC1-7):G02B5/08 主分类号 G02B5/08
代理机构 代理人
主权项
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