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发明名称 Bestrahlungseinrichtung mit einem hochflexiblen Membranbalg
摘要
申请公布号 DE19962198(C2) 申请公布日期 2001.12.13
申请号 DE19991062198 申请日期 1999.12.22
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.;BESTEC GMBH 发明人 BIEDERMANN, CHRISTOPH;RADTKE, RAINER;DEUCHLER, SIMON
分类号 G01N21/01;G01N23/20;H01J37/252;(IPC1-7):G01N23/20;G01N21/41 主分类号 G01N21/01
代理机构 代理人
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