发明名称 ELECTROMECHANICAL DRIVE ELEMENT COMPRISING A PIEZOELECTRIC ELEMENT
摘要
申请公布号 EP1161652(A1) 申请公布日期 2001.12.12
申请号 EP20000910762 申请日期 2000.03.03
申请人 NMI NATURWISSENSCHAFTLICHES UND MEDIZINISCHES INTITUT AN DER UNIVERSITAET TUEBINGEN 发明人 KLEINDIEK, STEPHAN
分类号 H01L41/09;H02N2/10;H02N2/12;(IPC1-7):G01B7/00 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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