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发明名称
WAFER CONTAINER AND DUSTING PREVENTION METHOD THEREOF AND METHOD FOR CONTAINING WAFER
摘要
申请公布号
KR20010110311(A)
申请公布日期
2001.12.12
申请号
KR1020017008166
申请日期
2001.06.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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