发明名称 METHOD OF FORMING A THERMALLY STABLE SILICIDE
摘要
申请公布号 EP0736224(B1) 申请公布日期 2001.12.12
申请号 EP19950933912 申请日期 1995.09.25
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 PRAMANICK, SHEKHAR
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/283;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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