| 发明名称 |
AN EPITAXIAL REACTOR, SUSCEPTOR AND GAS-FLOW SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0730679(B1) |
申请公布日期 |
2001.12.12 |
| 申请号 |
EP19950933371 |
申请日期 |
1995.09.14 |
| 申请人 |
LPE SPA |
发明人 |
OGLIARI, VINCENZO;PRETI FRANCO;POZZETTI, VITTORIO |
| 分类号 |
C30B25/10;C23C16/44;C23C16/458;C30B25/12;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02 |
主分类号 |
C30B25/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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