| 摘要 |
<p>이 발명은 스페이서 산포 장치 및 그 방법을 개시한다. 이전 설비로부터 작업이 완료된 기판이 핸들링 스테이션에 정렬되면, 설비 제어기가 호스트 또는 작업자 인터페이스로부터 전송되는 기판 크기 정보와 핸들링 스테이션에 위치된 위치 센서로부터 감지되는 실제 기판 크기 정보를 비교한다. 두 기판 크기 정보가 일치하지 않는 경우에는 경보 동작을 수행하고, 실제 기판 크기 정보에 따라 스페이서 산포 작업을 위한 스테이지의 크기를 조절한다. 기판 크기와 기판이 로딩되는 스테이지의 크기가 대응되도록, 설비 제어기는 기판 크기 정보에 따라 스테이지의 크기를 조절한다. 다음에, 설비 제어기가 로딩 로봇을 제어하여 핸들링 스테이션에 정렬된 기판을 스테이지의 로딩 영역에 로딩시키고, 스페이서 산포부를 구동시켜 기판 상에 스페이서를 산포한다. 따라서, 스페이서 산포시에 기판 크기가 변화되는 경우에도 스테이지를 교체할 필요없이 계속하여 스페이서 산포 작업을 수행할 수 있으며, 이에 따라 스테이지 교체 작업의 번거로움을 제거하고 작업 시간을 감소시킴에 따라 작업 효율성이 향상된다.</p> |
