| 发明名称 | 一种镀敷绝缘物质的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种在一半导体衬底上镀敷绝缘物质用以形成一电容器组件的方法。该方法包括从一金属靶上将一金属氧化物层反应溅镀到所述衬底上的步骤,其中支撑件被施加偏压,用以随着金属氧化物的形成穿经所镀敷的绝缘物质而感应出一直流电压。该电压可以在200至300伏的范围内。 | ||
| 申请公布号 | CN1326218A | 申请公布日期 | 2001.12.12 |
| 申请号 | CN01116607.X | 申请日期 | 2001.04.13 |
| 申请人 | 特利康控股有限公司 | 发明人 | 克莱尔·L·威金斯 |
| 分类号 | H01L21/31 | 主分类号 | H01L21/31 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 孙征 |
| 主权项 | 1.一种在一支撑件上将绝缘物质镀敷到一半导体衬底上、用以形成一电容器组件的方法，该方法包括从一金属靶上将一金属氧化物层反应溅镀到所述衬底上的步骤，其特征在于，向所述支撑件施加偏压，用以随着金属氧化层的形成，穿过所镀敷的绝缘物质而感应出一直流电压。 | ||
| 地址 | 英国格温特 | ||