发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING AND TESTING CHIP DESIGN
摘要
申请公布号 KR20010110048(A) 申请公布日期 2001.12.12
申请号 KR20000042575 申请日期 2000.07.25
申请人 PARK, HYUN JU;PARK, HYUN SUK 发明人 PARK, HYUN JU;PARK, HYUN SUK
分类号 (IPC1-7):H01L21/66 主分类号 (IPC1-7):H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址