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发明名称
METHOD FOR MANUFACTURING SELF-ALIGNED CONTACT HOLE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR20010109369(A)
申请公布日期
2001.12.10
申请号
KR20000029358
申请日期
2000.05.30
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
OH, JEONG HUN;PARK, BYEONG JUN
分类号
(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
(IPC1-7):H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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